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石英坩堝,具有高純度、耐溫性強(qiáng)、尺寸大精度高、保溫性好、節(jié)約能源、質(zhì)量穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn),應(yīng)用越來(lái)越廣泛。石英坩堝分為方形、圓形兩大類:圓形的石英坩堝是用在單晶爐里拉制單晶硅的;方形的石英坩堝是用在多晶硅鑄錠中的。
石英坩堝的性能主要有熱學(xué)性能和結(jié)晶性能。熱性能是指它的熱膨脹數(shù)低,所以具有非常好的抗熱振性能。析晶是石英坩堝的高溫下析出二氧化硅結(jié)晶的過(guò)程,也是晶體生長(zhǎng)工藝中最忌諱的物理現(xiàn)象。石英坩堝的高純性對(duì)晶體的物理參數(shù)及非平衡少數(shù)載流子壽命影響極大。
石英坩堝在使用過(guò)程中需要注意的事項(xiàng)如下:
石英坩堝主要化學(xué)成分是二氧化硅,除氫氟酸外不與其它酸作用,易與苛性堿及堿金屬碳酸鹽作用。
石英坩堝對(duì)熱的穩(wěn)定性很好,可直接放在火焰上加熱。
石英坩堝和玻璃器皿一樣,容易破碎,使用時(shí)要特別小心。
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